SURFCOM CREST

所属分类：

粗糙度轮廓测量机

高稳定倍光路型激光干涉传感器 ●应用東京精密的要素技术之一的光纤激光干涉测长系统，开发出分辨率0.31nm的高稳定倍光路型激光干涉传感器并搭载在产品上。 ●动态量程与分辨率之比高达42,000,000 ：1，一次跟踪即可评价大范围的轮廓形状及其隐藏在形状下面的微细表面形状，是一款划时代的产品。

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产品详情

高稳定倍光路型激光干涉传感器

●应用東京精密的要素技术之一的光纤激光干涉测长系统，开发出分辨率0.31nm的高稳定倍光路型激光干涉传感器并搭载在产品上。
●动态量程与分辨率之比高达42,000,000 ：1，一次跟踪即可评价大范围的轮廓形状及其隐藏在形状下面的微细表面形状，是一款划时代的产品。

在驱动部搭载线性马达已取得专利

●凭借线性马达驱动，实现了高精度·高速移动。
●电子低振动化稳定，可以实现高倍率测定。

只需一次测量即可进行粗糙度和轮廓的分析

●可在保持高精度的同时提高测量效率。

大量程

●横向200mm，纵向13mm，测量范围大。
●可±45°自动控制驱动部倾斜
（SURFCOM CREST-T型号）

外观图

规格

※1 ：标配测针DM84145 使用时
※2 ：0.03 mm/s, 高斯滤波:λc=0.08 mm,λs=2.5 μm
※3 ：±45 度开口角, 0.3 mm/s, 最小二乘圆计算,高斯滤波：λs=0.08 mm
※4 ：±45 度开口角, 0.3 mm/s, 包含标准器的不确定性
※5 ：0.3 mm/s, 包含标准器的不确定性
※6 ：单侧斜面的分析长度5 mm 以上, 0.3 mm/s, 包含标准器的不确定性

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